 創新產品： |
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壹、 功能：適合晶片型太陽能電池濕式蝕刻製程。
貳、 特點：
一、 連續式製程設備
相較於傳統的批次處理，本設備以連續性生產的方式設計，能夠大幅簡化前後晶片上、下載問題。
二、同一水平面的流片設計
為對應更薄晶片在線上傳輸需求，晶片採用同水平面一高度的傳輸設計，以有效降低破片率。
三、 均勻的流場設計
藥水槽內部流場特殊設計，對於化學試劑的濃度控制與放熱造成溫度變化作有效的管理，確保蝕刻品質的一致性。
四、 製程線上品管系統設計
連線式的線上品管系統設計有助於即時生產管理的進行，蝕刻製程前後線上重量比對系統等即時品管量測的設計，除作為生產管制外亦可提供即時製程調整。
五、 整合性的電控設計
整合多PLC控制的架構，引進最新連結網路技術 “MELSEC NET/G”作為各控制器的資料與命令傳輸。
六、 專利的上壓輪與浸泡槽設計
確保易碎的晶片能順利的經過所有的製程槽，同時能均勻的與化學藥劑反應。
參、 規格：
一、 製品名稱:太陽能矽晶片
二、 製品尺寸：125x125 & 156x156±0.5mm (厚度: ≥150μm)
三、 晶片流向：右向左
四、 Throughput：1,200 pcs/hour(5 Transport lanes)
五、 Pass-line：1,100mm(由地板算起)
六、 無塵等級：Class 1000
七、 設備尺寸：9,100(L)*2,000(W)*2,210(H)mm
八、 搬送方式：Roller水平搬送
九、 控制方式：PLC控制
十、 傳輸速度：Conveyor (0.5~1.5m/min)可調 |
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